超高真空镀膜设备

一、核心参数：  

价格区间：200万-300万  

仪器种类：电子束蒸发镀膜机  

产地类别：国产  

应用领域：微电子学  

基片尺寸：4寸（可定制）  

靶材：AL  

基片温度范围：RT-900ºC  

成膜厚度均匀性：均一性<3%  

极限真空：<1E-9Torr  

二、约瑟夫森结超高压系统：  

超高真空镀膜设备专业制备约瑟夫森结制备，可精确生长所需的金属层和氧化绝缘层，确保高性能制备及高成品率；此镀膜仪有进样室、氩离子清洗室、电子束蒸发室以及氧化室，共计四个高真空腔室，腔室间使用传样杆进行高真空传样，传递模组须采用抓取式设计；设备所有工艺均支持4英寸及以内的晶圆或不规则样品。设备整个工艺过程，可以按照用户设置的参数自动化运行，工艺流程包括并不限于：抽真空，监测气压，离子清洗，样品位置调节、传样，加热，电子束蒸发特定厚度设置，自动调整气压等。  

三、厦门韫茂科技有限公司为您提供超高真空镀膜设备QBT-J的参数、价格、型号、原理等信息，QBT-J产地为福建、品牌为韫茂，型号为QBT-J，价格为200万-300万RMB，更多相关信息可咨询，公司客服电话7*24小时为您服务。  

四、售后服务：  

保修期：1年  

是否可延长保修期：否  

现场技术咨询：有  

免费培训：1.设备出厂前，提供至少2人一周的设备原厂培训。2.设备在现场完成安装调试  

免费仪器保养：有需要可安排

保内维修承诺：保修期内（除天灾和人为损害外）部件、元件费用、出差费用均由我司承担

报修承诺：质保期内出现故障时我司将及时响应，并在8小时内派技术人员到现场解决故障

五、技术参数：