ALD

简要描述：桌面式原子层沉积系统ALD（Atomic layer deposition)是通过将气相前驱体脉冲交替地通入反应腔体内并在沉积基体上化学吸附并反应而形成沉积膜的一种技术，具有自限性和自饱和。原子层沉积技术主要应用是在各种尺寸和形状的基底上沉积高精度、无针孔、高保形的纳米薄膜。

产品型号：Mini Desktop
厂商性质：生产厂家
更新时间：2024-05-08
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半导体行业专用仪器

PALD 粉体包覆 PALD厂家 ALD 原子层沉积设备

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详细介绍

    一、核心参数：

    价格区间：10万-50万

    产地类别：国产原子层沉积系统（ALD）

    衬底尺寸：4寸

    工艺温度：RT-300℃

    前驱体数：4组液态或固态前驱体

    重量：40KG

    尺寸(WxHxD)：500*400*400mm

    均匀性：99.9%

    二、原子层沉积（Atomiclayerdeposition)是通过将气相前驱体脉冲交替地通入反应腔体内并在沉积基体上化学吸附并反应而形成沉积膜的一种技术，具有自限性和自饱和。原子层沉积技术主要应用是在各种尺寸和形状的基底上沉积高精度、无针孔、高保形的纳米薄膜。

    三、桌面式原子层沉积系统产品描述：

    厦门韫茂科技公司研发的超小型桌式原子层沉积设备是先进材料研究的有力设备之一，它可以在4寸晶元（向下兼容）和微纳米粉体上实现均匀可控的原子层沉积，具有广泛的应用领域，设各配有独立控制的300℃完整加热反应腔室系统，保证工艺温度均匀，该系统具有粉末样品桶、晶元載盘，全自动温控制、前驱体源钢瓶、自动温度控制阀、工业级安全控制，以及现场RGA、QCM、臭氧发生器、手套箱等设计选项，是先进能源材料、催化剂材料、新型纳米材料研究与应用的最佳研发工具

    四、厦门韫茂科技有限公司为您提供桌面式原子层沉积系统的参数、价格、型号、原理等信息，产地为福建、品牌为韫茂，型号为MiniDesktopALD，价格为50万RMB，更多相关信息可咨询，公司客服电话7*24小时为您服务。

    五、售后服务：

    保修期：1年

    是否可延长保修期：否

    现场技术咨询：有

    免费培训：1.设备出厂前，提供至少2人一周的设备原厂培训。2.设备在现场完成安装调试

    免费仪器保养：有需要可安排

    保内维修承诺：保修期内（除天灾和人为损害外）部件、元件费用、出差费用均由我司承担

    报修承诺：质保期内出现故障时我司将及时响应，并在8小时内派技术人员到现场解决故障

    六、技术参数：

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