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11-6
等离子体原子层沉积利用等离子体辉光放电的能量将气体分子分解成原子或分子,然后通过物理或化学过程沉积在基片表面形成薄膜。该技术的主要特点是能够实现原子层级别的控制,具有较高的薄膜质量、沉积速率快、反应气体种类多等特点。它是在等离子体辉光放电的条件下,将气体分子分解成原子或分子,然后通过物理或化学过程沉积在基片表面形成薄膜。该技术的主要特点是能够实现原子层级别的控制,具有较高的薄膜质量、沉积速率快、反应气体种类多等特点。等离子体原子层沉积技术的优点在于其能够实现高度均匀的薄膜沉积...
10-15
量子镀膜设备是一种薄膜制备技术,它在现代科技领域有着广泛的应用。这种镀膜设备采用量子力学原理,通过控制薄膜的微观结构和物理性能,以获得具有特定性能的薄膜。量子镀膜设备的工作原理是利用量子力学原理,通过物理或化学方法将材料表面形成一层极薄的膜。这层薄膜具有较高的密度和均匀性,并且具有优异的物理性能,例如高硬度、高耐磨性、抗氧化等。通常由真空系统、加热系统、控制系统和样品台等组成。在镀膜过程中,真空系统维持镀膜室内的压力,加热系统将材料加热到高温,控制系统控制镀膜过程的参数,而样...
10-8
电子束蒸发镀膜利用电子束作为热源,将固体材料加热至熔点以上,使其蒸发并沉积在基底表面形成薄膜。在镀膜过程中,电子枪发射的电子束打到固体材料表面,通过电子与材料的相互作用,将材料加热至熔点以上,使其蒸发。蒸发出来的材料分子在真空中快速扩散,并凝结在基底表面形成薄膜。这种镀膜技术具有高沉积速率、高纯度、低损伤等优点。同时,由于电子束的能量高度集中,因此可以精确控制薄膜的厚度和成分,达到纳米级精度。电子束蒸发镀膜是一种利用电子束作为热源,将固体材料加热至熔点以上,使其蒸发并沉积在基...
9-6
磁控溅射镀膜机是一种广泛应用于表面涂层技术的高精度设备。它利用磁控溅射技术,在材料表面形成均匀、致密的薄膜,提供了许多重要的功能和保护性能。它的工作原理是通过将目标材料放置在真空室中,并施加高电压使其形成离子态。然后,利用磁场对离子进行操控,使其沉积在基材表面上,形成薄膜。这种方法可以实现非常精确的薄膜厚度控制,并具有较高的沉积速率。该设备的特点之一是可以使用多种不同材料进行镀膜。从金属到陶瓷,从半导体到聚合物,几乎任何具有可溅射性的材料都可以被利用。这使得它在众多行业中得到...
9-1
真空镀膜机是一种用于在物体表面形成薄膜的设备。它利用真空环境下的物理过程,将材料以蒸气或离子的形式沉积到基材上,从而提供保护、装饰或功能性涂层。1、工作原理是基于蒸发、溅射或化学反应等方法。通过在真空室内创建低压和低温的环境,将待镀材料加热至其蒸发温度,使其转变为蒸气态并沉积在基材表面。或者使用离子束轰击目标材料,使其溅射到基材上形成薄膜。另外,在一些特定的应用中,也可以引入化学反应,通过气相反应生成所需的薄膜。2、具有广泛的应用领域。在光学领域,它用于制造反射镜、透镜和滤光...
8-8
原子层沉积设备是一种先进的薄膜制备技术,广泛应用于纳米科技领域。它可以在材料表面逐个原子地沉积薄膜,具有非常高的精确性和控制性。工作原理:该设备通常包括两个或多个反应室和一个转盘。在每个反应室里,材料表面会经历一系列的步骤,包括前驱体吸附、表面反应和产物排放。通过逐个原子地添加层,可以实现非常精确的薄膜生长。原子层沉积设备具有广泛的应用领域。其中之一是制备纳米电子器件。由于它能够精确地控制薄膜厚度和组成,因此可以用于制造高性能的晶体管、存储器和传感器等电子器件。它还可以用于光...
8-1
随着科学技术的不断发展,纳米科技正日益成为当今世界的研究热点。在纳米尺度下,材料的性质和行为与宏观尺度有着显著的差异,这使得纳米科技在诸多领域具有广泛的应用前景。而分子层沉积作为一种精确控制薄膜生长的技术,正在推动纳米科技迈向一个崭新的时代。分子层沉积是一种化学气相沉积技术,它通过反复交替地在基底表面上加入两种或多种可反应物质,形成一层层分子堆积的薄膜结构。这些可反应物质通常是挥发性的有机或无机配体,其选择取决于所需薄膜的化学组成。这种技术的关键在于在每一步反应之后都要进行表...
7-11
电子束蒸发镀膜是一种物理气相沉积(PVD)技术,用于在基底材料上生长薄膜。它利用高能电子束来蒸发源材料,使其从固态直接转变为气态,然后在基底上沉积形成薄膜。这种技术具有较高的沉积速率和较好的薄膜质量,可实现低温沉积和高精度控制。电子束蒸发镀膜技术具有几个优势。它可以实现高纯度材料的沉积,因为源材料在蒸发过程中不会与其他物质发生反应。该技术可实现较高的沉积速率和良好的薄膜均匀性,从而提高生产效率和产品品质。具有较高的沉积温度控制能力,适用于对基底材料有温度敏感性要求的应用。该技...
7-4
超高真空镀膜设备是一种先进的技术装备,用于在材料表面形成薄膜。它具有广泛的应用领域,包括光学、电子、航空航天等行业。超高真空镀膜设备的工作原理基于真空环境下的物理气相沉积原理。它通常由真空腔体、加热源、镀膜源和控制系统等组成。首先,将待镀物放置在真空腔体中,通过抽取内部空气实现超高真空环境的建立。然后,加热源提供热能,使镀膜源中的材料升温并蒸发。蒸发的材料沉积在待镀物的表面,形成均匀且致密的薄膜。具有许多特点:超高真空环境可消除气体和杂质对薄膜质量的影响,确保薄膜的纯净性。设...
6-11
双腔室高真空等离子体PEALD是一种薄膜沉积技术,也被称为迭层沉积技术。该技术可以在高真空环境下制备非常均匀、致密和一致的几纳米厚度的薄膜,这些薄膜通常用于微电子和光学应用中。PEALD技术具有多种优点。该技术可以在非常低的温度下进行,因此可以在温度敏感的衬底上进行薄膜沉积。由于该技术可以在高真空环境下进行,因此可以避免氧化或其他污染物质对沉积过程的干扰。该技术具有非常高的控制性,可以精确控制每个原子层的沉积,从而实现高度一致的薄膜。PEALD系统通常由两个独立的反应腔室组成...