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  • 2023

    7-7

    原子层沉积是一种薄膜制备技术,被广泛应用于纳米电子器件、光学涂层和生物传感器等领域。设备作为这一技术的核心工具,在纳米材料研究与制备中发挥着重要的作用。原子层沉积设备是一种精密的气相化学反应装置,其基本原理是通过在材料表面逐个分子地进行反应,形成单层薄膜。该设备通常由气体供给系统、反应室、真空系统和温度控制系统等组成。在反应过程中,首先将所需前驱体气体引入反应室,然后与表面发生化学反应,生成薄膜的一个原子层。之后,通过净化气体来清除未反应的前驱体和副产物,以确保下一层的纯度。...

  • 2023

    6-14

    约瑟夫森结镀膜设备是一种用于制造超导电子器件的设备。它基于约瑟夫森效应,该效应描述了在两个超导体之间存在一个非常薄的障壁时,电流可以通过这个障壁而不受电阻的影响。约瑟夫森结具有很多重要的应用,包括量子比特、微波电子学和极低噪声放大器等。该设备是一种专门用于生产约瑟夫森结的设备,在这个设备中,金属材料被蒸发并在超导体表面形成一个非常薄的氧化层。这个氧化层可以作为障壁来控制电流的流动,从而实现约瑟夫森结的制造。约瑟夫森结镀膜设备由多个关键部分组成,其中包括真空腔、蒸发源、样品台和...

  • 2023

    6-12

    控溅射原理电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞,电离出大量的氩离子和电子,电子飞向基片。氩离子在电场的作用下加速轰击靶材,溅射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子(或分子)沉积在基片上成膜,而二次电子在加速飞翔基材时,在磁场的洛仑兹力影响之下,呈现螺旋线状与摆线的复合形式在靶表面做一系列圆周运动,该电子不但运动路径长,还是被电磁场理论束博在靠近靶面的等离子体区域范围内,于此区内电离出大量的Ar,对靶材进行轰击,所以说磁控溅射镀膜设备的沉积速率高。从而出现了磁控溅...

  • 2023

    6-8

    磁控溅射镀膜机是一种常用于制备薄膜的设备,其基本原理是利用高能量电子轰击靶材表面,使得靶材物质从表面剥离并沉积在基材上形成薄膜。这种技术可以制备各种类型的薄膜,包括金属、氧化物、氮化物等,并且常用于制备电子器件中的金属导电层、衬底层等。磁控溅射镀膜机主要由靶材、基材、真空室、电源、电子束枪等组成。其中,靶材是溅射镀膜机的关键部分,其选择对于薄膜的性质和质量有着至关重要的影响。基材则是需要被镀覆薄膜的材料,通常是半导体晶片、光学元件、金属器件等。真空室则是为了保证反应环境的纯净...

  • 2023

    5-17

    等离子体原子层沉积是一种基于化学反应的薄膜制备技术,利用等离子体增强的化学反应来实现单原子层沉积。它可以制备高质量、均匀、具有精确定位控制的纳米薄膜,广泛应用于微电子、光电子、传感器、能源、储存和生物医学领域。该技术以等离子体为辅助,实现了原子水平的沉积控制。等离子体是一种由带正或负电荷的电离分子和自由电子组成的高度激发态的气体,通过高频交流放电或射频放电等方式产生。等离子体可以提供高能电子和活性化学物种,与前驱体气体中的化学键断裂和形成新化学键,实现表面反应沉积。技术中,前...

  • 2023

    5-12

    桌面式原子层沉积系统是一种高精度的薄膜沉积技术。它能够在纳米尺度上控制薄膜厚度和成分,主要的应用领域是微电子制造。在芯片生产中,可以用于制备高质量的介电薄膜、铝电极、金属氧化物等材料。此外,还可以用于制备纳米材料、薄膜太阳能电池、磁性材料等应用。工作原理是利用化学反应将原料气体分子逐层沉积在衬底表面上。在沉积过程中,每个原子层的厚度可以达到亚纳米级别,这使得其成为一种高精度、高可控性的薄膜沉积技术。该技术的优点包括:沉积速度快、薄膜质量好、成本低等。桌面式原子层沉积系统的优点...

  • 2023

    4-28

    粉末原子层沉积是一种新兴的化学气相沉积技术,它将传统原子层沉积技术扩展到了粉末材料表面的修饰。可以对各种粉末材料进行表面修饰,例如金属、氧化物、非晶体等,从而获得所需的表面性质和功能。在本文中,将对其技术进行详细探讨。1.原理和机制:它的原理和传统技术相似,都是通过交替注入两种或多种前驱体分子来完成预定周期的化学反应,从而在材料表面逐层生长一定厚度的薄膜。使用的是粉末材料作为反应基底,可以通过气流或旋转式反应器等方式将粉末材料投入反应室中。此外,还需要考虑粉末材料的内部孔隙结...

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